シリコン表面の水素終端化とシリサイド形成過程の研究
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "シリコン表面の水素終端化とシリサイド形成過程の研究"
- 責任表示
- 研究代表者 上田一之
- 出版者
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- 大阪大学工学部
- 出版年月
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- 1994.3
- 書籍サイズ
- 1994.3
- タイトル別名
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- シリコン ヒョウメン ノ スイソ シュウタンカ ト シリサイド ケイセイ カテイ ノ ケンキュウ
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注記
[課題番号]: 04452093
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000798120809472
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- NII書誌ID
- BB2364296X
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [吹田]
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- データソース種別
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- CiNii Books