書誌事項
- タイトル
- "Plasma processing for VLSI"
- 責任表示
- edited by Norman G. Einspruch, Dale M. Brown
- 出版者
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- Academic Press
- 出版年月
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- 1984
- 書籍サイズ
- 24 cm
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注記
Includes bibliographies and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000798194776960
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- NII書誌ID
- BA00536241
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- ISBN
- 0122341082
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- LCCN
- 83022351
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/83022351
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- New York ; Orlando
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- 分類
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- LCC: TK7874
- DC19: 621.381/73
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- データソース種別
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- CiNii Books