Materials, technology and reliability for advanced interconnects and low-k dielectrics : symposium held April 23-27, 2000, San Francisco, California, U.S.A.
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書誌事項
- タイトル
- "Materials, technology and reliability for advanced interconnects and low-k dielectrics : symposium held April 23-27, 2000, San Francisco, California, U.S.A."
- 責任表示
- editors, G.S Oehrlein ... [et al.]
- 出版者
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- Materials Research Society
- 出版年月
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- 2001
- 書籍サイズ
- 24 cm
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注記
Includes bibliographical references and indexes
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000798212738688
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- NII書誌ID
- BA52824872
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- ISBN
- 155899520X
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Warrendale, PA
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- データソース種別
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- CiNii Books