リアルタイム分光エリプソメトリーによる反応性イオンエッチング機構の解析
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "リアルタイム分光エリプソメトリーによる反応性イオンエッチング機構の解析"
- 責任表示
- 研究代表者 杉本克久
- 出版者
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- [杉本克久]
- 出版年月
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- 1997.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- リアルタイム ブンコウ エリプソメトリー ニヨル ハンノウセイ イオンエッチング キコウ ノ カイセキ
- 平成7年度～平成8年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
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注記
課題番号: 07455284
研究代表者: 杉本克久 (東北大学工学部教授)
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000798239916416
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- NII書誌ID
- BB10910501
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books