Proceedings of the third Symposium on Silicon Nitride and Silicon Dioxide Thin Insulating Films

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書誌事項

タイトル
"Proceedings of the third Symposium on Silicon Nitride and Silicon Dioxide Thin Insulating Films"
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editors, V.J. Kapoor, W.D. Brown ; Dielectric Science and Technology and Electronics Divisions
出版者
  • Electrochemical Society
出版年月
  • c1994
書籍サイズ
23 cm

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注記

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