Si原子層エッチング表面における自己制限型表面吸着・反応素過程に関する研究

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Bibliographic Information

Title
"Si原子層エッチング表面における自己制限型表面吸着・反応素過程に関する研究"
Statement of Responsibility
松浦孝研究代表者
Publisher
  • [松浦孝]
Publication Year
  • 1996.3
Book size
30cm
Other Title
  • SI ゲンシソウ エッチング ヒョウメン ニ オケル ジコ セイゲンガタ ヒョウメン キュウチャク ハンノウソ カテイ ニ カンスル ケンキュウ
  • 平成7年度科学研究費補助金(一般研究B)研究成果報告書 : (課題番号06452211)

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Notes

課題番号: 06452211

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000798252542976
  • NII Book ID
    BB10922169
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
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