Microelectromechanical systems--materials and devices III : symposium held November 30-December 2, 2009, Boston, Massachusetts, U.S.A.

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タイトル
"Microelectromechanical systems--materials and devices III : symposium held November 30-December 2, 2009, Boston, Massachusetts, U.S.A."
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editors, Jörg Bagdahn ... [et al.]
出版者
  • Materials Research Society
出版年月
  • c2010
書籍サイズ
24 cm

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注記

"... papers presented at Symposium DD, 'Microelectromechanical Systems--Materials and Devices III,' held November 30-December 2 at the 2009 MRS Fall Meeting in Boston, Massachusetts"--Pref

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