超高キャリア濃度半導体構造を用いた超低抵抗金属/半導体接合の形成

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書誌事項

タイトル
"超高キャリア濃度半導体構造を用いた超低抵抗金属/半導体接合の形成"
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室田淳一研究代表
出版者
  • [室田淳一]
出版年月
  • 2004.3
書籍サイズ
30cm
タイトル別名
  • チョウコウキャリア ノウド ハンドウタイ コウゾウ オ モチイタ チョウテイテイコウ キンゾク ハンドウタイ セツゴウ ノ ケイセイ
  • 平成13年度～平成15年度科学研究費補助金基盤研究(A)(2)研究成果報告書 : 課題番号 13355013
  • 超高キャリア濃度半導体構造を用いた超低抵抗金属半導体接合の形成

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注記

課題番号: 13355013

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000798350905216
  • NII書誌ID
    BB1022170X
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • [仙台]
  • データソース種別
    • CiNii Books
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