Laser applications in microelectronic and optoelectronic manufacturing III : 26-28 January 1998, San Jose, California
書誌事項
- タイトル
- "Laser applications in microelectronic and optoelectronic manufacturing III : 26-28 January 1998, San Jose, California"
- 責任表示
- Jan J. Dubowski, Peter E. Dyer, chairs/editors ; sponsored ... by SPIE--the International Society for Optical Engineering
- 出版者
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- SPIE
- 出版年月
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- c1998
- 書籍サイズ
- 28 cm
- タイトル別名
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- Laser applications in microelectronic and optoelectronic manufacturing 3
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130006495849168655
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- NII書誌ID
- BC06948712
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- ISBN
- 0819427136
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- LCCN
- 98233181
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/98233181
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, Wash., USA
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- データソース種別
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- CiNii Books