Micromachined devices and components V : 20-21 September 1999, Santa Clara, California
書誌事項
- タイトル
- "Micromachined devices and components V : 20-21 September 1999, Santa Clara, California"
- 責任表示
- Patrick J. French, Eric Peeters, chairs/editors ; sponsored ... by SPIE--the International Society for Optical Engineering ; cooperating organizations, SolidState Technology ... [et al.]
- 出版者
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- SPIE
- 出版年月
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- c1999
- 書籍サイズ
- 28 cm
- タイトル別名
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- Micromachined devices and components 5
- Micromachined devices and components five
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130006728301505937
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- NII書誌ID
- BC07420884
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- ISBN
- 0819434736
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- LCCN
- 00267603
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/00267603
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, Wash., USA
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- データソース種別
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- CiNii Books