MOEMS and miniaturized systems IV : 27-28 January, 2004, San Jose, California, USA

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書誌事項

タイトル
"MOEMS and miniaturized systems IV : 27-28 January, 2004, San Jose, California, USA"
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Ayman El-Fatatry, chair/editor ; sponsored and published by SPIE--the International Society for Optical Engineering
出版者
  • SPIE
出版年月
  • c2004
書籍サイズ
28 cm
タイトル別名
  • MOEMS and miniaturized systems 4
  • Microelectromechanical systems and miniaturized systems 4

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注記

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