書誌事項
- タイトル
- "Plasma etching in semiconductor fabrication"
- 責任表示
- Russ A. Morgan
- 出版者
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- Elsevier
- 出版年月
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- c1985
- 書籍サイズ
- 25 cm
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282268654030592
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- NII書誌ID
- BA00003964
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- ISBN
- 0444424199
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- LCCN
- 85004392
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/85004392
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- ne
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Amsterdam ; Tokyo
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- 分類
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- LCC: TK7871.85
- DC19: 621.3815/2
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- 件名
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- LCSH: Semiconductors -- Etching
- LCSH: Plasma etching
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- データソース種別
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- CiNii Books
