Integrated circuit metrology, inspection, and process control , 4-6 March 1987, Santa Clara, California /Kevin M. Monahan, chair/editor ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering

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書誌事項

タイトル
"Integrated circuit metrology, inspection, and process control , 4-6 March 1987, Santa Clara, California /Kevin M. Monahan, chair/editor ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering"
出版者
  • SPIE--the International Society for Optical Engineering
出版年月
  • c1987
書籍サイズ
28 cm
シリーズ名/番号
  • pbk.

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Includes bibliographical references and index

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130282268655336704
  • NII書誌ID
    BA1312222X
  • ISBN
    0892528109
  • LCCN
    87060743
  • Web Site
    https://lccn.loc.gov/87060743
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Bellingham, Wash., USA
  • 分類
  • データソース種別
    • CiNii Books
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