イメージングプレート・電子回折による半導体デバイスのゲッタリング機構の定量的解析
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "イメージングプレート・電子回折による半導体デバイスのゲッタリング機構の定量的解析"
- 責任表示
- 研究代表者 友清芳二
- 出版者
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- [九州大学]
- 出版年月
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- 1997.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- イメージング プレート デンシ カイセツ ニヨル ハンドウタイ デバイス ノ ゲッタリング キコウ ノ テイリョウテキ カイセキ
- 平成7年度〜平成8年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書 07455010
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注記
研究分担者:松村晶
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282268674562816
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- NII書誌ID
- BA67674569
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [福岡]
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- データソース種別
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- CiNii Books