ゾルーゲル法による透明厚膜の作製と微細加工プロセスへの応用
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "ゾルーゲル法による透明厚膜の作製と微細加工プロセスへの応用"
- 責任表示
- 研究代表者 南努
- 出版者
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- [南努]
- 出版年月
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- 2001.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- ゾルーゲルホウ ニ ヨル トウメイ コウマク ノ サクセイ ト ビサイ カコウ プロセス エノ オウヨウ
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注記
研究課題番号: 11555239
研究分担者: 辰巳砂昌弘, 忠永清治, 松田厚範, 前田浩一
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282268686830464
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- NII書誌ID
- BA53599498
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [堺]
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- データソース種別
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- CiNii Books