高集積回路配線用高性能アルミニウム合金の開発
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "高集積回路配線用高性能アルミニウム合金の開発"
- 責任表示
- 研究代表者:伊藤吾朗
- 出版者
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- 軽金属奨学会
- 出版年月
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- [2000]
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- コウ シュウセキ カイロ ハイセンヨウ コウセイノウ アルミニウム ゴウキン ノ カイハツ
- Development of high performance aluminum alloys for the interconnection in highly integrated large scale circuits
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注記
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282268706739584
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- NII書誌ID
- BA48003522
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- 大阪
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- 分類
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- NDC8: 565.52
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- データソース種別
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- CiNii Books