非平衡RFプラズマ空間中に浮遊する微粒子の動力学的挙動の解析
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "非平衡RFプラズマ空間中に浮遊する微粒子の動力学的挙動の解析"
- 責任表示
- 研究代表者 島田学
- 出版者
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- 広島大学大学院工学研究科
- 出版年月
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- 2006.5
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- ヒヘイコウ RF プラズマ クウカンチュウ ニ フユウ スル ビリュウシ ノ ドウリョクガクテキ キョドウ ノ カイセキ
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注記
課題番号: 15360413
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282268714524672
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- NII書誌ID
- BA77755419
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- 東広島
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- データソース種別
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- CiNii Books
