Materials issues in silicon integrated circuit processing : symposium held April 15-18, 1986, Palo Alto, California, U.S.A.

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書誌事項

タイトル
"Materials issues in silicon integrated circuit processing : symposium held April 15-18, 1986, Palo Alto, California, U.S.A."
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editors, Marc Wittmer, James Stimmell, Michael Strathman
出版者
  • Materials Research Society
出版年月
  • c1986
書籍サイズ
24 cm

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注記

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