分子層エピタキシャル法による単結晶サファイア薄膜の集積回路素子応用への基礎的研究
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書誌事項
- タイトル
- "分子層エピタキシャル法による単結晶サファイア薄膜の集積回路素子応用への基礎的研究"
- 責任表示
- 大矢銀一郎研究代表者
- 出版者
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- [大矢銀一郎]
- 出版年月
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- 1988.3
- 書籍サイズ
- 26cm
- タイトル別名
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- ブンシソウ エピタキシャルホウ ニ ヨル タンケッショウ サファイア ハクマク ノ シュウセキ カイロ ソシ オウヨウ エ ノ キソテキ ケンキュウ
- 昭和61・62年度科学研究費補助金(一般研究B)研究成果報告書 : (研究課題番号 61460121)
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注記
課題番号: 61460121
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282268907651328
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- NII書誌ID
- BB12792472
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books