光・プラズマアシスト気相成長法による立方晶窒化ホウ素薄膜の作製

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書誌事項

タイトル
"光・プラズマアシスト気相成長法による立方晶窒化ホウ素薄膜の作製"
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研究代表者 杉野隆
出版者
  • 大阪大学工学部
出版年月
  • 1996.3
書籍サイズ
30 cm
タイトル別名
  • ヒカリ プラズマ アシスト キソウ セイチョウホウ ニ ヨル リッポウショウ チッカ ホウソ ハクマク ノ サクセイ

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注記

課題番号: 06650021

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130282268963307264
  • NII書誌ID
    BB2570651X
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • [吹田]
  • データソース種別
    • CiNii Books
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