超高速LSI用Cu配線におけるボイド形成機構の研究
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書誌事項
- タイトル
- "超高速LSI用Cu配線におけるボイド形成機構の研究"
- 責任表示
- 小池淳一研究代表者
- 出版者
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- [小池淳一]
- 出版年月
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- 2004.7
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- チョウコウソク LSIヨウ CU ハイセン ニオケル ボイド ケイセイ キコウ ノ ケンキュウ
- 平成13年度〜平成15年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(課題番号13450281)
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282269003162240
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- NII書誌ID
- BB10067075
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books