誘導結合フロロカーボンプラズマの特性の理論的研究
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "誘導結合フロロカーボンプラズマの特性の理論的研究"
- 責任表示
- 南部健一研究代表
- 出版者
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- [南部健一]
- 出版年月
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- 2004.5
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- ユウドウ ケツゴウ フロロカーボン プラズマ ノ トクセイ ノ リロンテキ ケンキュウ
- 平成14年度-平成15年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(課題番号14350088)
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282269008237696
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- NII書誌ID
- BB10130003
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books