Proceedings of the Second International Symposium on Process Control, Diagnostics, and Modeling in Semiconductor Manufacturing

Web Site CiNii 所蔵館 1館

書誌事項

タイトル
"Proceedings of the Second International Symposium on Process Control, Diagnostics, and Modeling in Semiconductor Manufacturing"
責任表示
editors, M. Meyyappan, D.J. Economou, S.W. Butler ; [sponsored by] Dielectric Science and Technology and Electronics Divisions
出版者
  • Electrochemical Society
出版年月
  • c1997
書籍サイズ
23 cm

この図書・雑誌をさがす

注記

"Part of the 191st Meeting of the Electrochemical Society"--P. iii

Includes bibliographical references and indexes

関連図書・雑誌

もっと見る

詳細情報 詳細情報について

ページトップへ