Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine : Tagung München, 9. Nov. 1989
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書誌事項
- タイトル
- "Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine : Tagung München, 9. Nov. 1989"
- 責任表示
- VDI/VDE-Gesellschaft Feinwerktechnik
- 出版者
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- VDI Verlag
- 出版年月
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- 1989
- 書籍サイズ
- 23 cm
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注記
Papers of the conference
Includes bibliographies
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282269121104000
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- NII書誌ID
- BA07800814
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- ISBN
- 3180907959
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- 出版国コード
- gw
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- タイトル言語コード
- de
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- 出版地
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- Düsseldorf
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- 分類
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- LCC: TA3
- LCC: TK7872.M3
- DC19: 620 s
- DC19: 621.381/73
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- データソース種別
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- CiNii Books
