Proceedings of the First International Symposium on Chemical Mechanical Planarization
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書誌事項
- タイトル
- "Proceedings of the First International Symposium on Chemical Mechanical Planarization"
- 責任表示
- editors, I. Ali, S. Raghavan
- 出版者
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- Electrochemical Society
- 出版年月
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- c1997
- 書籍サイズ
- 24 cm
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注記
"Electronics and Delectric Science and Technology Divisions"
Includes bibliographical references and indexes
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282269250480000
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- NII書誌ID
- BA32334994
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- ISBN
- 1566771722
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Pennington, NJ
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- データソース種別
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- CiNii Books
