高感度光電子収率分光による極めて薄い酸化膜 : シリコン界面の欠陥密度定量評価
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書誌事項
- タイトル
- "高感度光電子収率分光による極めて薄い酸化膜 : シリコン界面の欠陥密度定量評価"
- 責任表示
- 研究代表者 宮崎誠一
- 出版者
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- [宮崎誠一]
- 出版年月
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- 1998.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- コウカンド コウデンシ シュウリツ ブンコウ ニヨル キワメテ ウスイ サンカマク : シリコン カイメン ノ ケッカン ミツド テイリョウ ヒョウカ
- 高感度光電子収率分光による極めて薄い酸化膜シリコン界面の欠陥密度定量評価
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注記
[課題番号] : 08455147
研究代表者: 宮崎誠一(広島大学工学部助教授)
研究分担者: 廣瀬全孝
参考文献あり
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282269364552960
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- NII書誌ID
- BB28549327
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [東広島]
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- データソース種別
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- CiNii Books