Silicon Nitride and Silicon Dioxide Thin Insulating Films : proceedings of the sixth International Symposium
書誌事項
- タイトル
- "Silicon Nitride and Silicon Dioxide Thin Insulating Films : proceedings of the sixth International Symposium"
- 責任表示
- editors, K.B. Sundaram ... [et al.]
- 出版者
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- Electrochemical Society
- 出版年月
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- c2001
- 書籍サイズ
- 23 cm
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注記
"The Dielectric Science and Technology, electronics and High temperature Materials Divisions of the Electrochemical Society co-sponsored the symposium ..."--on pref
"... held on March 25-30, 2001 in Washington, DC U.S.A."--on pref
Includes bibliographical references and indexes
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282269400490624
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- NII書誌ID
- BA54513104
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- ISBN
- 156677313X
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- LCCN
- 01092446
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/01092446
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Pennington, N.J.
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- 分類
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- LCC: TK7872.T55
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- データソース種別
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- CiNii Books
