ここまできた半導体清浄化技術 : スーパークリーンテクノロジー実現
CiNii
所蔵館 6館
書誌事項
- タイトル
- "ここまできた半導体清浄化技術 : スーパークリーンテクノロジー実現"
- 責任表示
- 岩松誠一著
- 出版者
-
- 工業調査会
- 初版第2刷
- 出版年月
-
- 1994.1
- 書籍サイズ
- 19cm
- タイトル別名
-
- ココマデ キタ ハンドウタイ セイジョウカ ギジュツ : スーパー クリーン テクノロジー ジツゲン
この図書・雑誌をさがす
注記
「まえがき」1992年11月付, 参考文献追加有
各章末:参考文献
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1130282269415740800
-
- NII書誌ID
- BN12812869
-
- ISBN
- 4769311028
-
- 本文言語コード
- ja
-
- 出版国コード
- ja
-
- タイトル言語コード
- ja
-
- 出版地
-
- 東京
-
- 分類
-
- NDC8: 549.8
-
- 件名
-
- BSH: 半導体
-
- データソース種別
-
- CiNii Books
