書誌事項
- タイトル
- "Polymers in microlithography : materials and processes"
- 責任表示
- Elsa Reichmanis, editor, Scott A. MacDonald, editor, Takao Iwayanagi, editor
- 出版者
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- American Chemical Society
- 出版年月
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- 1989
- 書籍サイズ
- 23 cm
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注記
Includes bibliographical references and indexes
"Developed from a symposium sponsored by the Division of Polymeric Materials: Science and Engineering at the 197th national meeting of the American Chemical Society, Dallas, Texas, April 9-14, 1989"
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282269437084160
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- NII書誌ID
- BA07699969
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- ISBN
- 0841217017
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- LCCN
- 89017931
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/89017931
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Washington, D.C.
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- 分類
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- LCC: TK7871.15.P6
- DC20: 621.381/531
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- 件名
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- データソース種別
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- CiNii Books
