過剰空孔の導入及びその緩和過程制御による疑似単結晶シリコン形成技術の研究
書誌事項
- タイトル
- "過剰空孔の導入及びその緩和過程制御による疑似単結晶シリコン形成技術の研究"
- 責任表示
- 研究代表者 宮尾正信
- 出版者
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- [九州大学]
- 出版年月
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- 2003.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- カジョウ クウコウ ノ ドウニュウ オヨビ ソノ カンワ カテイ セイギョ ニヨル ギジタン ケッショウ シリコン ケイセイ ギジュツ ノ ケンキュウ
- 平成12年度-平成14年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(12450015)
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注記
研究分担者:佐道泰造ほか
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282269505313152
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- NII書誌ID
- BA63919278
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [福岡]
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- データソース種別
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- CiNii Books