逆向型ラジカル源を用いた薄膜化技術に関する研究 : 平成3〜6年度無機材質特別研究

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Bibliographic Information

Title
"逆向型ラジカル源を用いた薄膜化技術に関する研究 : 平成3〜6年度無機材質特別研究"
Statement of Responsibility
科学技術庁無機材質研究所編
Publisher
  • 科学技術庁無機材質研究所
Publication Year
  • 1995.11
Book size
30cm
Other Title
  • ギャッコウガタ ラジカルゲン オ モチイタ ハクマクカ ギジュツ ニカンスル ケンキュウ : ヘイセイ 3 6ネンド ムキ ザイシツ トクベツ ケンキュウ

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282269524220800
  • NII Book ID
    BB06635935
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • つくば市
  • Data Source
    • CiNii Books
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