超薄膜銀蒸着シリコン(111)表面への活性ガスの吸着脱離

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Bibliographic Information

Title
"超薄膜銀蒸着シリコン(111)表面への活性ガスの吸着脱離"
Statement of Responsibility
研究代表者服部賢
Publisher
  • [奈良先端科学技術大学院大学]
Publication Year
  • 2002.3
Book size
30 cm
Other Title
  • チョウハクマク ギン ジョウチャク シリコン 111 ヒョウメン エノ カッセイガス ノ キュウチャク ダツリ
  • 平成12年度-平成13年度学研究費補助金基盤研究(C)研究成果報告書

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Notes

課題番号12640313

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282269548529536
  • NII Book ID
    BA59408956
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [生駒]
  • Data Source
    • CiNii Books
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