超薄膜銀蒸着シリコン(111)表面への活性ガスの吸着脱離
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "超薄膜銀蒸着シリコン(111)表面への活性ガスの吸着脱離"
- 責任表示
- 研究代表者服部賢
- 出版者
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- [奈良先端科学技術大学院大学]
- 出版年月
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- 2002.3
- 書籍サイズ
- 30 cm
- タイトル別名
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- チョウハクマク ギン ジョウチャク シリコン 111 ヒョウメン エノ カッセイガス ノ キュウチャク ダツリ
- 平成12年度-平成13年度学研究費補助金基盤研究(C)研究成果報告書
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注記
課題番号12640313
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282269548529536
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- NII書誌ID
- BA59408956
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [生駒]
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- データソース種別
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- CiNii Books
