MEMS components and applications for industry, automobiles, aerospace, and communication : 22-23 October 2001, San Francisco, USA
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書誌事項
- タイトル
- "MEMS components and applications for industry, automobiles, aerospace, and communication : 22-23 October 2001, San Francisco, USA"
- 責任表示
- Henry Helvajan, Siegfried W. Janson, Franz Lärmer, chair/editor ; sponsored and published by SPIE--The International Society for Optical Engineering ; cosponsored by DARPA--Defense Advanced Research Projects Agency (USA)
- 出版者
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- SPIE
- 出版年月
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- c2001
- 書籍サイズ
- 28 cm
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282269561824384
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- NII書誌ID
- BA59269088
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- ISBN
- 0819442879
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, Wash.
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- データソース種別
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- CiNii Books