Ion implantation into semiconductors, oxides and ceramics : proceedings of the E-MRS 1998 Spring Meeting Symposium J on Ion Implantation into Semiconductors, Oxides and Ceramics, Strasbourg, France, 16-19 June, 1998
書誌事項
- タイトル
- "Ion implantation into semiconductors, oxides and ceramics : proceedings of the E-MRS 1998 Spring Meeting Symposium J on Ion Implantation into Semiconductors, Oxides and Ceramics, Strasbourg, France, 16-19 June, 1998"
- 責任表示
- edited by J.K.N. Lindner ... [et al.]
- 出版者
-
- Elsevier
- 出版年月
-
- c1999
- 書籍サイズ
- 29 cm
この図書・雑誌をさがす
注記
"Reprinted from: Nuclear instruments and methods B, vol. 147/1-4"--T.p. verso
Includes bibliographical references and index
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1130282269627371776
-
- NII書誌ID
- BA5039164X
-
- ISBN
- 0080436137
-
- LCCN
- 99209818
-
- Web Site
- https://lccn.loc.gov/99209818
-
- 本文言語コード
- en
-
- 出版国コード
- ne
-
- タイトル言語コード
- en
-
- 出版地
-
- Amsterdam ; New York ; Tokyo
-
- 分類
-
- LCC: TK7871.85
- DC21: 621.3815/2
-
- データソース種別
-
- CiNii Books