CMOS gate-stack scaling--materials, interfaces and reliability implications : symposium held April 14-16, 2009, San Francisco, California, U.S.A.
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書誌事項
- タイトル
- "CMOS gate-stack scaling--materials, interfaces and reliability implications : symposium held April 14-16, 2009, San Francisco, California, U.S.A."
- 責任表示
- editors: Alexander A. Demkov ... [et al.]
- 出版者
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- Materials Research Society
- 出版年月
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- c2009
- 書籍サイズ
- 24 cm
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注記
Other editors: Bill Taylor, H. Rusty Harris, Jeffery W. Butterbaugh, Willy Rachmady
Includes bibliographical references and indexes
"..., 'CMOS gate-stack scaling--materials, interfaces and reliability implications,' held April 14-16 at the 2009 MRS Spring Meeting in San Francisco, California."--Pref.
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282269636947456
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- NII書誌ID
- BB02098415
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- ISBN
- 9781605111285
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Warrendale, Pa.
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- データソース種別
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- CiNii Books