書誌事項
- タイトル
- "Handbook of VLSI microlithography : principles, technology, and applications"
- 責任表示
- edited by William B. Glendinning, John N. Helbert
- 出版者
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- Noyes Publications
- 出版年月
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- c1991
- 書籍サイズ
- 25 cm
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282269746471040
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- NII書誌ID
- BA19304842
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- ISBN
- 0815512813
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- LCCN
- 90023646
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/90023646
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Park Ridge, N.J., U.S.A.
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- 分類
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- LCC: TK7874
- DC20: 621.381/531
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- データソース種別
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- CiNii Books
