化学気相成長法による薄膜製造の高効率化

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Bibliographic Information

Title
"化学気相成長法による薄膜製造の高効率化"
Statement of Responsibility
研究代表者 滝本昭
Publisher
  • [滝本昭]
Publication Year
  • 1993
Book size
30cm
Other Title
  • カガク キソウ セイチョウホウ ニ ヨル ハクマク セイゾウ ノ コウコウリツカ

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Notes

課題番号:03650177

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282269925648256
  • NII Book ID
    BN09446693
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [金沢]
  • Data Source
    • CiNii Books
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