書誌事項
- タイトル
- "Lithography for VLSI"
- 責任表示
- edited by Norman G. Einspruch, R.K. Watts
- 出版者
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- Academic Press
- 出版年月
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- 1987
- 書籍サイズ
- 24 cm
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282269993756800
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- NII書誌ID
- BA01291241
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- ISBN
- 0122341163
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- LCCN
- 86032156
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/86032156
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Orlando ; Tokyo
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- 分類
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- LCC: TK7874
- DC19: 621.381/73 s
- DC19: 621.381/73
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- 件名
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- LCSH: Integrated circuits -- Very large scale integration
- LCSH: Printed circuits
- LCSH: Lithography
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- データソース種別
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- CiNii Books