メタル-シリコン化合物(シリサイド)の成長機構に関する基礎研究

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書誌事項

タイトル
"メタル-シリコン化合物(シリサイド)の成長機構に関する基礎研究"
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研究代表者 下崎敏唯
出版者
  • [九州工業大学]
出版年月
  • 1995.3
書籍サイズ
30cm
タイトル別名
  • メタル-シリコン カゴウブツ シリサイド ノ セイチョウ キコウ ニ カンスル キソ ケンキュウ
  • 平成6年度科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書

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注記

研究課題番号: 04650604

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130282270106925440
  • NII書誌ID
    BA78265528
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • [北九州]
  • データソース種別
    • CiNii Books
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