メタル-シリコン化合物(シリサイド)の成長機構に関する基礎研究
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "メタル-シリコン化合物(シリサイド)の成長機構に関する基礎研究"
- 責任表示
- 研究代表者 下崎敏唯
- 出版者
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- [九州工業大学]
- 出版年月
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- 1995.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- メタル-シリコン カゴウブツ シリサイド ノ セイチョウ キコウ ニ カンスル キソ ケンキュウ
- 平成6年度科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書
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注記
研究課題番号: 04650604
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282270106925440
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- NII書誌ID
- BA78265528
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [北九州]
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- データソース種別
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- CiNii Books