ナノインプリントにおける離型問題の評価とその対策
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "ナノインプリントにおける離型問題の評価とその対策"
- 責任表示
- 谷口淳, 好野則夫, 坂井信支執筆
- 出版者
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- リアライズ理工センター
- 出版年月
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- 2010.5
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- ナノインプリント ニオケル リガタ モンダイ ノ ヒョウカ ト ソノ タイサク
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注記
参考文献: 各章末
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282270176893824
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- NII書誌ID
- BB17017723
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- ISBN
- 9784898081051
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- 東京
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- 分類
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- NDC8: 549
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- 件名
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- BSH: ナノインプリント
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- データソース種別
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- CiNii Books