低周波50HzプラズマCVD法によるカーボン薄膜の低温形成プロセスの開発

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Bibliographic Information

Title
"低周波50HzプラズマCVD法によるカーボン薄膜の低温形成プロセスの開発"
Statement of Responsibility
研究代表者 下妻光夫
Publisher
  • [北海道大学医療技術短期大学部]
Publication Year
  • 1992.3
Book size
26cm
Other Title
  • テイシュウハ 50Hz プラズマ CVDホウ ニヨル カーボン ハクマク ノ テイオン ケイセイ プロセス ノ カイハツ

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Notes

課題番号: 02555056

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282270198010368
  • NII Book ID
    BB01824012
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [札幌]
  • Data Source
    • CiNii Books
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