超クリーンクローズド多重湿式プロセス装置を用いた超純水中のシリコン表面状態の研究
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書誌事項
- タイトル
- "超クリーンクローズド多重湿式プロセス装置を用いた超純水中のシリコン表面状態の研究"
- 責任表示
- 研究代表者 岩崎裕
- 出版者
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- 大阪大学産業科学研究所
- 出版年月
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- 1995.3
- 書籍サイズ
- 30 cm
- タイトル別名
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- チョウクリーンクローズド ダジュウ シッシキ プロセス ソウチ ヲ モチイタ チョウジュンスイチュウ ノ シリコン ヒョウメン ジョウタイ ノ ケンキュウ
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注記
[課題番号]: 04452092
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282270397220352
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- NII書誌ID
- BB24056485
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [茨木]
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- データソース種別
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- CiNii Books