Doping engineering for device fabrication : symposium held April 18-19, 2006, San Francisco, California, U.S.A.
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書誌事項
- タイトル
- "Doping engineering for device fabrication : symposium held April 18-19, 2006, San Francisco, California, U.S.A."
- 責任表示
- editors, B.J. Pawlak ... [et al.]
- 出版者
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- Materials Research Society
- 出版年月
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- c2006
- 書籍サイズ
- 24 cm
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注記
"This volume contains papers presented at Symposium C, "Sub-Second Rapid Thermal Processing for Device Fabrication," held April 18-19 at the 2006 MRS Spring Meeting in San Francisco, California."--Pref.
Includes bibliographical references and indexes
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282270403558528
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- NII書誌ID
- BA7964760X
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Warrendale, Pa.
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- データソース種別
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- CiNii Books