Doping engineering for device fabrication : symposium held April 18-19, 2006, San Francisco, California, U.S.A.

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書誌事項

タイトル
"Doping engineering for device fabrication : symposium held April 18-19, 2006, San Francisco, California, U.S.A."
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editors, B.J. Pawlak ... [et al.]
出版者
  • Materials Research Society
出版年月
  • c2006
書籍サイズ
24 cm

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注記

"This volume contains papers presented at Symposium C, "Sub-Second Rapid Thermal Processing for Device Fabrication," held April 18-19 at the 2006 MRS Spring Meeting in San Francisco, California."--Pref.

Includes bibliographical references and indexes

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130282270403558528
  • NII書誌ID
    BA7964760X
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Warrendale, Pa.
  • データソース種別
    • CiNii Books
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