銅薄膜自己維持スパッタによる高エレクトロマイグレーション耐性多層配線の研究

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Bibliographic Information

Title
"銅薄膜自己維持スパッタによる高エレクトロマイグレーション耐性多層配線の研究"
Statement of Responsibility
研究代表者 新宮原正三
Publisher
  • [新宮原正三]
Publication Year
  • 1999.10
Book size
30cm
Other Title
  • ドウハクマク ジコ イジ スパッタ ニヨル コウ エレクトロ マイグレーション タイセイ タソウ ハイセン ノ ケンキュウ

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Notes

研究課題番号: 08555076

研究代表者: 新宮原正三(広島大学工学部助教授)

研究分担者: 高萩隆行, 坂上弘之, 吉川公麿

参考文献リスト: p61

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282270476323840
  • NII Book ID
    BB28715765
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [東広島]
  • Data Source
    • CiNii Books
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