超精密旋盤用真空チャック面の熱変形・弾性変形による形状変化

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書誌事項

タイトル
"超精密旋盤用真空チャック面の熱変形・弾性変形による形状変化"
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研究代表者 横山和宏
出版者
  • [横山和宏]
出版年月
  • 1990.3
書籍サイズ
26cm
タイトル別名
  • チョウセイミツ センバンヨウ シンクウ チャックメン ノ ネツ ヘンケイ・ダンセイ ヘンケイ ニ ヨル ケイジョウ ヘンカ

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注記

研究課題番号: 63550101

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130282270477107840
  • NII書誌ID
    BB07802001
  • 本文言語コード
    ja
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • [新潟]
  • データソース種別
    • CiNii Books
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