超精密旋盤用真空チャック面の熱変形・弾性変形による形状変化
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "超精密旋盤用真空チャック面の熱変形・弾性変形による形状変化"
- 責任表示
- 研究代表者 横山和宏
- 出版者
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- [横山和宏]
- 出版年月
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- 1990.3
- 書籍サイズ
- 26cm
- タイトル別名
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- チョウセイミツ センバンヨウ シンクウ チャックメン ノ ネツ ヘンケイ・ダンセイ ヘンケイ ニ ヨル ケイジョウ ヘンカ
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注記
研究課題番号: 63550101
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282270477107840
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- NII書誌ID
- BB07802001
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [新潟]
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- データソース種別
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- CiNii Books