Ti-Ni形状記憶合金スパッタ薄膜を用いた強力大変位マイクロアクチュエータの作製
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "Ti-Ni形状記憶合金スパッタ薄膜を用いた強力大変位マイクロアクチュエータの作製"
- 責任表示
- 宮崎修一研究代表
- 出版者
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- [宮崎修一]
- 出版年月
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- 2006.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- Ti-Ni ケイジョウ キオク ゴウキン スパッタ ハクマク オ モチイタ キョウリョク ダイヘンイ マイクロ アクチュエータ ノ サクセイ
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注記
課題番号: 14205099
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282270480076032
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- NII書誌ID
- BA77548800
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [つくば]
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- データソース種別
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- CiNii Books
