LSI内微細銅配線のためのプラズマ異方性CVD
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "LSI内微細銅配線のためのプラズマ異方性CVD"
- 責任表示
- 研究代表者 白谷正治
- 出版者
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- [九州大学]
- 出版年月
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- 2004.5
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- LSIナイ ビサイ ドウ ハイセン ノ タメ ノ プラズマ イホウセイ CVD
- 平成14-15年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(課題番号14350021)
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282270509418752
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- NII書誌ID
- BA68687544
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [福岡]
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- データソース種別
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- CiNii Books