気体分離配線構造を有するTaゲート金属基板SOI超高速超微細LSIの開発

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Bibliographic Information

Title
"気体分離配線構造を有するTaゲート金属基板SOI超高速超微細LSIの開発"
Statement of Responsibility
研究代表者 大見忠弘
Publisher
  • [大見忠弘]
Publication Year
  • 2002.3
Book size
30cm
Other Title
  • キタイ ブンリ ハイセン コウゾウ オ ユウスル TA ゲート キンゾク キバン SOI チョウコウソク チョウビサイ LSI ノ カイハツ

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Notes

研究分担者: 須川成利, 小谷光司, 平山昌樹

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282270578302848
  • NII Book ID
    BB06298358
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
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