サブハーフミクロンのパターニングが可能なポジ型レジスト高分子材料の開発
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "サブハーフミクロンのパターニングが可能なポジ型レジスト高分子材料の開発"
- 責任表示
- 松田実研究代表者
- 出版者
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- [松田実]
- 出版年月
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- 1992.3
- 書籍サイズ
- 25cm
- タイトル別名
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- サブハーフミクロン ノ パターニング ガ カノウ ナ ポジガタ レジスト コウブンシ ザイリョウ ノ カイハツ
- 平成3年度(試験研究B(1))文部省科学研究費補助金研究成果報告書 : (課題番号02555181)
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注記
課題番号: 02555181
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282270604704128
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- NII書誌ID
- BB12332213
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books